MKS 226A-29554

美國萬機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS完成了對ION SYSTEMS、UMETRICS和NOVX的三樁收購，大大擴(kuò)展了其制程控制產(chǎn)品系列和提升了其市場競爭力。隨著中國本土半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，國外領(lǐng)先芯片設(shè)備供應(yīng)商紛紛淘金于中國大陸，而本土制造廠的崛起也為零配件供應(yīng)商帶來了更大的契機(jī)。在2006年度美國萬機(jī)儀器MKS INSTRUMENTS營業(yè)額達(dá)到7.83億美元。
代表型號(hào)：AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUM B5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513, SUREPOWER QL6513, SUREPOWER QL10513, SUREPOWER QL13013,OPTIMA OPT-50, OPTIMA OPT-100, OPTIMA OPT-200, OPTIMA OPT-400, OPTIMA OPT-600,RPG-50,RPG-100,ENI-RFPC,MWH-5,MW-10D,ENI-2500-13.56,MWH-100,MWH-25,VI PROBE,1249A,148JA11CR1M, 148JA12CR1M, 148JA13CR1M, 148JA14CR1M, 148JA21CR1M, 148JA22CR1M, 148JA23CR1M, 148JA24CR1M, 148JA51CR1M, 148JA52CR1M, 148JA53CR1M,0154A-200LSV,0154A-200LRV,244E-1-VPO,244E-1-PLO, 244E-4-VPO,244E-4-PLO,245,247D,0248A-00010RV, 0248A-00010SV, 0248A-00050RV, 0248A-00050SV, 0248A-00100RV, 0248A-00100SV, 0248A-005050RV, 0248A-00500SV, 0248A-01000RV, 0248A-01000SV,250E-1-A,250E-1-D,250E-4-A,250-4-D,DELTA II FRC,MDD,VODMC52CR1BE, VODMC13CR1BE, VODMC33CR1BE,DLI25CSDA, DLI25CSDB, DLI25CKA, 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651CD2S1N，651CD2S1B，651CD2S2N，651CD2S2B，655AD2B，655AD2N，1651C2S，146C-ABCOO-1，146C-ABDFM-1，146C-ACBOO-1，146C-BCCOO-1，146C-BCDOO-1，146C-AFFFO-1，146C-FFFFO-1，146C-ABCOM-1，146C-ABDOO-1，146C-ACBOM-1，146C-AAFFN-1，660B10，660B12，660B20，660B22，660B30，660B32，660B40，660B42，LDM-D12PD2CC1，LDM-D13TD3AA2，PDR2000AO，4000AS2V1N，4000AS2V2N，4000AS5V1N，4000AS5V2N，4000AF2V1N，4000AF2V2N，4000AF5V1N，4000AF5V2N，MultiGas Purity, MultiGas 2030, MultiGas 2030-HS, InDuct, Process Sense, SecsTrace, MicroVision Plus, e-Vision, TOOLweb-RGA, 300mm Resist-Torr, HPQ2, V1000-B, V1000-C, v1000-E, V1000-I, V1000-P, 200mm Resist-Torr, 300mm Resist-Torr, Cirrus，901P-11, 901P-12, 901P-21, 901P-22, 901P-41, 901P-42, 901P-51, 901P-52, 901P-81, 901P-82, 902-1113, 902-1213, 902001, 902-1112, 902-1113, 902-1105, 902-1212, 902-1213. 902-1205, 902-1312, 902-1313, 902-1305, 909-11, 909-21, 909-31, 909-41, 909-51, 909-61, 909A-11, 909A-21, 909A-31, 909A-41, 909A-51, 909A-61, 109030001, 109030002, 109030003, 109030004, 109030111, 109030112, 109030113, 109030114,910-11,910-12,910-41,910-42,910-51,910-52, 925C-11, 925C-12, 925C-21, 925C-31, 925C-22, 925C-41, 925C-42, 925C-51,925C-52, 925C-81, 925C-82, 925-11, 925-12, 925-21, 925-22, 925-41, 925-42, 925-51, 925-52, 925-81, 925-82, 979B-11, 979B-12, 979B-21, 979B-22, 979B-31, 979B-32, 979B-41, 979B-42, 979B-51, 979B-52, 999-11, 999-12, 999-21, 999-22, 999-31, 999-32, 999-41, 999-42, 999-51, 999-52, 999-61, 999-62, 100014129, PDR900-11-US, PDR900-11-EU, 100013703, 100013705, 100013613, 100013615, 100013620, 100013622, 100013638, 100010757, 100013690, 100013695, 945-A-120-TR, 945-A-220-TR, 945-A-120-MC, 945-A-220-MC, 945-A-120-PA, 945-A-220-PA, 945-A-120-MB, 945-A-220-MB, 103450010, 103450011, 103450012, 103450013, 103450014, 103450015, 103450016, 103450017, 103450018, 10317006SH, 10317007SH, 10317008SH, 100009993, 947-A-120-MB, 947-A-120-MC, 947-A-120-PA, 947-A-120-TR, 947-A-220-MB, 947-A-220-MC, 947-A-220-PA, 947-A-220-TR, 103170010SH, 103170011SH, 103170012SH, 103170013SH, 103170014SH, 103170016SH, 103170018SH, 103170027SH, 103170029SH, 103170006SH, 103170007SH, 943-A-120V50-MB-PC, 943-A-120V50-PA-PC, 943-A-120V50-TR-PC, 943-A-120V60-MB-PC, 943-A-120V60-PA-PC, 943-A-120V60-TR-PC, 943-A-220V50-MB-PC, 943-A-220V50-PA-PC, 943-A-220V50-TR-PC, 943-A-220V60-MB-PC, 943-A-220V60-PA-PC, 943-A-220V60-TR-PC, 104230004, 104230001, 104230002, 104230003, 104210004, 104210001, 104210002, 104210003, 104210005, 100002505, 100007873, 100007874, 100002395, 100006171, 100006172, 100006173, 100006174,937A,RMU PCI-104, MacroNode, 3U Ethernet Card Cage, AS00107-01, AS00108-01, AS00120-01, AS00121-01, AS00122-01, AS00123-01, AS00124-01, AS00125-01, AS00126-01, AS00127-01, AS00128-01, AS00160-01, AS00161-01, AS00239-01, AS00246-01, AS00249-01, AS00720-01, AS00721-01, AS00722-01, HDFD-0850, AS00710-01, AS00700-02, AS00800-01, AS00801-01, AS00803-02, AS00804-01, AS00760-02, CDN127,CDN180,CDN49X,CDN572-5,CDN694, MSVAHE160000, MSVAHE16D000, MSVAHE260000, MSVAHE26D000, MSVAHE360000, MSVAHE36D000,943系列數(shù)字型冷陰極控制器

943-A-120V50-TR-PC? ? 943 控制器, Torr 讀數(shù), 50 Hz, 100-120V 10317001SH? 355600-0-YG-T? 275400-1-GD-T? 355400-0-TD-T? ?355001-TD? ?51B13TCA2BA670? ?628H-15991? 925-42030? MKS? ?
627F-1T-QD5B? 649B00111T51CAVR? 649B-28665 358501-010-M3? 358011-10? 390610-2-YE-T?

943-A-120V60-TR-PC? ? 943 控制器, Torr 讀數(shù), 60 Hz, 100-120V

943-A-220V50-TR-PC? ? 943 控制器, Torr 讀數(shù), 50 Hz, 220-240V

943-A-220V60-TR-PC? ? 943 控制器, Torr 讀數(shù), 60 Hz, 220-240V

943-A-120V50-MB-PC? ? 943 控制器, mbar 讀數(shù), 50 Hz, 100-120V

943-A-120V60-MB-PC? ? 943 控制器, mbar 讀數(shù), 60 Hz, 100-120V

943-A-220V50-MB-PC? ? 943 控制器, mbar 讀數(shù), 50 Hz, 220-240V

943-A-220V60-MB-PC? ? 943 控制器, mbar 讀數(shù), 60 Hz, 220-240V

943-A-120V50-PA-PC? ? 943 控制器, Pa 讀數(shù), 50 Hz, 100-120V

943-A-120V60-PA-PC? ? 943 控制器, Pa 讀數(shù), 60 Hz, 100-120V

943-A-220V50-PA-PC? ? 943 控制器, Pa 讀數(shù), 50 Hz, 220-240V

943-A-220V60-PA-PC? ? 943 控制器, Pa 讀數(shù), 60 Hz, 220-240V

423 I-Mag冷陰極傳感器：

104230004? ? ? 423 I-Mag 冷陰極傳感器, NW 25 KF

104230001? ? ? 423 I-Mag 冷陰極傳感器, NW 40 KF

104230002? ? ? 423 I-Mag 冷陰極傳感器, 23/4” CF

104230003? ? ? 423 I-Mag 冷陰極傳感器, 1” Tube

421 冷陰極傳感器：

104210004? ? ? 421 冷陰極傳感器, NW 25 KF

104210001? ? ? 421 冷陰極傳感器, NW 40 KF

104210002? ? ? 421 冷陰極傳感器, 23/4” CF

104210003? ? ? 421 冷陰極傳感器, 1” Tube

104210005? ? ? 421 冷陰極傳感器, 8 VCR-F1

423 I-Mag冷陰極傳感器線纜：

100002505? ? ? 2 ft. (0.6 m)

100007873? ? ? 10 ft. (3.0 m)

100007874? ? ? 25 ft. (7.6 m)

100002395? ? ? 50 ft. (15 m)

421 冷陰極傳感器線纜：

100006171? ? ? 10 ft. (3.0 m)

100006172? ? ? 25 ft. (7.6 m)

100006173? ? ? 50 ft. (15.2 m)

100006174? ? ? 100 ft. (30.5 m)

附件：

103150001? ? ? 電源線,115 VAC

100005087? ? ? 943系列輸出連接組件

100005021? ? ? 固定支架

100006734? ? ? 421系列冷陰極管重組組件 (6螺栓，1/4-28)

100002353? ? ? 423 I-Mag 冷陰極傳感器重組組件

100005279? ? ? 421系列組裝扳手

100006828? ? ? 943系列使用手冊

945系列Pirani真空測量計(jì)

系列主要參數(shù)：
?

?
1.0 x 10-4 to 100 Torr

?
、Mbar、Pa、micron
?
5° to 40°C (41° to 104°F)

?
90 to 130 VAC, 50/60 Hz, 9 W

210 to 250 VAC, 50/60 Hz, 9 W

?
?
945系列訂購指南：

945系列數(shù)字Pirani控制器：

945-A-120-TR? ? ?945系列Pirani控制器, 120 Volts, Torr 讀數(shù)

945-A-220-TR? ? ?945系列Pirani控制器, 220 Volts, Torr 讀數(shù)

945-A-120-MC? ? ?945系列Pirani控制器, 120 Volts, micron 讀數(shù)

945-A-220-MC? ? ?945系列Pirani控制器, 220 Volts, micron 讀數(shù)

945-A-120-PA? ? ?945系列Pirani控制器, 120 Volts, Pascal 讀數(shù)

945-A-220-PA? ? ?945系列Pirani控制器, 220 Volts, Pascal 讀數(shù)

945-A-120-MB? ? ?945系列Pirani控制器, 120 Volts, mbar 讀數(shù)

945-A-220-MB? ? ?945系列Pirani控制器, 220 Volts, mbar 讀數(shù)

345系列屏蔽型Pirani傳感器—滿足CE要求：

103450210? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103450211? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 1/8”NPT-M

103450212? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 8 VCR-F 1

103450213? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, Mini 1-1/3'' CF

103450214? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 2-3/4 CF

103450215? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103450216? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 15mm 管道

103450218? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 18mm 管道

345系列傳感器與945系列控制器互連的電纜：

103170006SH 10 ft. (3.0 m)

103170007SH 25 ft. (7.6 m)

103170008SH 50 ft. (15.2 m)

103170009SH 客戶定制 (zui長 500 ft.)

附件：

103150001? ? ? ? ?電源線, 115 VAC

100008103? ? ? ? ?945系列輸出互連套件

100005021? ? ? ? ?安裝硬件套件

109450020? ? ? ? ?945系列用戶手冊

100009993? ? ? ? ?Octal到9針適配器

100005456? ? ? ? ?Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 空白

100005457? ? ? ? ?Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 1 cutout

100005458? ? ? ? ?Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 2 cutouts

100005459? ? ? ? ?Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 3 cutouts

100005460? ? ? ? ?Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 4 cutouts

947系列真空傳感器系統(tǒng)

數(shù)字型加強(qiáng)對流Pirani真空傳感器系統(tǒng)

947系列對流增強(qiáng)型Pirani控制器具有寬的測量范圍10-3至10+3，是用于低真空到中真空的理想選擇。它可用于低真空和中真空的壓力測量，以及對高真空傳感器的激活，或根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)繼電器的預(yù)設(shè)點(diǎn)來啟動(dòng)系統(tǒng)的真空過程。947系列控制器不僅適合于所有的工業(yè)真空的應(yīng)用，如半導(dǎo)體或食品加工中，還可以應(yīng)用于研究分析設(shè)備中。

系列主要參數(shù)：
?

?
1.0 x 10-3 to 1.0 x 10+3 Torr

?
、Mbar、Pa、micron
?
5° to 40°C (41° to 104°F)

?
90 to 130 VAC, 50/60 Hz, 9 W

210 to 250 VAC, 50/60 Hz, 9 W

?
?
947系列訂購指南：

947系列對流增強(qiáng)型Pirani傳感器（包括電源線、輸出互連器和用戶手冊）

947-A-120-TR? ? ? ?947 系列控制器, 120 volts, Torr readout

947-A-220-TR? ? ? ?947 系列控制器, 220 volts, Torr readout

947-A-120-MC? ? ? ?947 系列控制器, 120 volts, micron readout

947-A-220-MC? ? ? ?947 系列控制器, 220 volts, micron readout

947-A-120-PA? ? ? ?947 系列控制器, 120 volts, Pascal readout

947-A-220-PA? ? ? ?947 系列控制器, 220 volts, Pascal readout

947-A-120-MB? ? ? ?947 系列控制器, 120 volts, mbar readout

947-A-220-MB? ? ? ?947 系列控制器, 220 volts, mbar readout

317系列屏蔽型對流增強(qiáng)Pirani傳感器（滿足CE要求）：

103170010SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103170011SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 1/8" NPT-M

103170012SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 8 VCR-F1

103170013SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, Mini 11/3” CF

103170014SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 2?" CF

103170016SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 15 mm. 管道

103170018SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 18 mm. 管道

103170027SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103170029SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 4 VCR-F1

用于對流增強(qiáng)型Pirani傳感器的線纜：

103170006SH? ? ? ? 10 ft (3.0 m)

103170007SH? ? ? ? 25 ft (7.6 m)

103170008SH? ? ? ? 50 ft (15.2 m)

103170009SH? ? ? ? 客戶定制 (zui大500 ft.)

附件：

103150001? ? ? ? ? 電源線, 115 VAC

100005021? ? ? ? ? 安裝硬件

109470020? ? ? ? ? 947系列用戶手冊

100005456? ? ? ? ? Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN,空白

100005457? ? ? ? ? Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 1 cutout

100005458? ? ? ? ? Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 2 cutouts

100005459? ? ? ? ? Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 3 cutouts

100005460? ? ? ? ? Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 4 cutouts

959系列熱陰極真空傳感器系統(tǒng)

HPS 959系列熱陰極控制器是一個(gè)緊湊型、經(jīng)濟(jì)的單通道控制器。它能進(jìn)行方便、快速、可靠的壓力測量，所有的操作控制，包括電源的通斷都可以在控制器的面板上方便的進(jìn)行。

959系列可以僅僅作為熱陰極的控制器，如選配Pirani時(shí)也可作為熱陰極/pirani的控制器，959系列能自動(dòng)的探測所用的HPS標(biāo)準(zhǔn)的Pirani，還是對流型的Pirani，Pirani能控制熱陰極的燈絲，在近大氣壓工作時(shí)能對燈絲起保護(hù)作用。當(dāng)Pirani和熱陰極的輸出有重疊時(shí)，可選擇一個(gè)組合的輸出顯示。

系列主要參數(shù)：
?

?
1.0 x 10-10 to 1000（根據(jù)傳感器）r

?
、Mbar、Pa、micron
?
5° to 40°C (41° to 104°F)

?
90 to 130 VAC, 50/60 Hz, 9 W

210 to 250 VAC, 50/60 Hz, 9 W

?
?
?
345、317
959系列訂購指南：

959系列控制器

109590015? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)Torr, 50 Hz, 熱陰極

109590016? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)Torr, 60 Hz, 熱陰極

109590025? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)mbar, 50 Hz, 熱陰極

109590026? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)mbar, 60 Hz, 熱陰極

109590035? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)Pascal, 50 Hz, 熱陰極

109590036? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)Pascal, 60 Hz, 熱陰極

109590915? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)Torr, 50 Hz, 熱陰極/Pirani

109590916? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)Torr, 60 Hz, 熱陰極/Pirani

109590925? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)mbar, 50 Hz, 熱陰極/Pirani

109590926? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)mbar, 60 Hz, 熱陰極/Pirani

109590935? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)Pascal, 50 Hz, 熱陰極/Pirani

109590936? ? ? 959系列控制器 讀數(shù)Pascal, 60 Hz, 熱陰極/Pirani

微型離子規(guī)（MIG）傳感器

100011085? ? ? 微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲1 管道

100011111? ? ? 微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 1-1/3 CF

100011112? ? ? 微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 2-3/4 CF

100011113? ? ? 微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 NW 25 KF

100011114? ? ? 微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 NW 40 KF

100011118? ? ? 微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 NW 16 KF

100011127? ? ? 微型離子規(guī)傳感器 涂覆氧化釔的釔燈絲 3/4 管道

微型離子規(guī)（MIG）電纜

100011106? ? ? 電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 10 ft.（3m）

100011107? ? ? 電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 25 ft.（7.6m）

100011108? ? ? 電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 50 ft.（15.2m）

裸規(guī)熱陰極傳感器

100005987? ? ? 裸規(guī)熱陰極傳感器，鎢, NW 40 KF

100005980? ? ? 裸規(guī)熱陰極傳感器，鎢, 2-3/4 CF

100006841? ? ? 裸規(guī)熱陰極傳感器，涂覆氧化釔的釔, NW 40 KF

100006842? ? ? 裸規(guī)熱陰極傳感器，涂覆氧化釔的釔, 2-3/4 CF

裸規(guī)熱陰極傳感器電纜

100010909? ? ? 電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 10 ft.（3m）

100010910? ? ? 電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 25 ft.（7.6m）

100010911? ? ? 電纜，微型離子規(guī)傳感器連接到959系列控制器 50 ft.（15.2m）

317系列屏蔽型對流增強(qiáng)Pirani傳感器：

103170010SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103170011SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 1/8" NPT-M

103170012SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 8 VCR-F1

103170013SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, Mini 11/3” CF

103170014SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 2?" CF

103170016SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 15 mm. 管道

103170018SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 18 mm. 管道

103170027SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103170029SH? ? ? ? 317 系列傳感器, 屏蔽型, 4 VCR-F1

345系列屏蔽型Pirani傳感器—滿足CE要求：

103450210? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103450211? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 1/8”NPT-M

103450212? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 8 VCR-F 1

103450213? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, Mini 1-1/3'' CF

103450214? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 2-3/4 CF

103450215? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103450216? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 15mm 管道

103450218? ? ? ? 345系列Pirani傳感器, 屏蔽型, 18mm 管道

317和345系列Pirani傳感器的線纜：

103170006SH? ? ? ? 10 ft (3.0 m)

103170007SH? ? ? ? 25 ft (7.6 m)

103170008SH? ? ? ? 50 ft (15.2 m)

附件

103150001? ? ? 電源線,115 VAC

100005087? ? ? 輸出連接組件

100005761? ? ? 安裝件

100883069? ? ? CF Nipple帶屏，2-3/4英寸 CF，4英寸

100011229? ? ? 959系列用戶手冊