產(chǎn)品詳情
S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹
氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller(meter)縮寫為 MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的設(shè)備。
S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計）
特點： ☆工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等。適 用于各種耐腐蝕性氣體。線路板、閥體、彈等為重要零部件，均執(zhí)行 嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。 ☆具有精度高、重復(fù)性好、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。
☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。 ☆配合 MT-51 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進(jìn)行計量。
S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計）主要應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制；
各種形式的真空鍍膜設(shè)備；
環(huán)境檢測與分析設(shè)備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。
質(zhì)量流量控制器（流量計）由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié) 閥和放大控制電路等部件組成。 本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分 布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的 影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得 的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定 的流量相等。
