產(chǎn)品詳情
FT1000SA系列MEMS三軸電容加速度傳感器
一、傳感器特點(diǎn)：
FT1000SA三軸MEMS電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測(cè)量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性。
本產(chǎn)品可用于汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。
二、產(chǎn)品性能
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靈敏度（20±5℃） |
X Y Z:～40-20mv/g |
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測(cè)量范圍（峰值） |
50~100 g |
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最大橫向靈敏度 |
≤1 ％ |
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頻率響應(yīng)（±5%） |
DC ～12000 Hz |
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安裝諧振頻率 |
25,000 Hz |
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頻譜噪聲 |
25 μg/√Hz |
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工作溫度范圍 |
-40～+120 ℃ |
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溫度響應(yīng) |
見溫度曲線 |
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極性 |
正向 |
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溫度靈敏度穩(wěn)定性 |
5% |
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磁靈敏度 |
2 g/T |
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線性度為滿度范圍 |
±0.1% |
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安裝 |
M5螺釘/安裝座/磁座 |
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敏感材料 |
MEAS芯片 |
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殼體材料 |
鈦合金 |
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重量 |
13g |
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輸出方式 |
九芯插頭/5線制 |
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供電電壓 |
DC7-12V |
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配套件 |
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傳感器合格證 |
標(biāo)定參數(shù)、頻響曲線 |
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M5螺栓/安裝座 |
一套 |
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9芯/（2 米） |
1根 |
FT1000SA系列MEMS電容三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。
