產(chǎn)品詳情
Edwards EPX 系列干式泵應用:
EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“L"系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。
功能和優(yōu)勢
緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級
管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。
低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可化功率效率。
的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續(xù)工作。
超清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油
脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非常可靠EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5年維修一次，程度地延長了
泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡 - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到各種結構的網(wǎng)絡，以進行診斷監(jiān)視和控制。
