哈默納科光罩制備諧波CSF-17-80-2A-R

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第13年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSD-17-50-2A-R,
類(lèi)型圓柱齒輪減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨樣品齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比34
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

也就是說(shuō)，即使晶圓大到6或8吋，但光罩大小還是小小的1~2吋見(jiàn)方哈默納科光罩制備諧波CSF-17-80-2A-R ，一則光罩制備快速，二則小面積對(duì)準(zhǔn)的問(wèn)題也比較少；只是要曝滿整片晶圓，要花上數(shù)十次「對(duì)準(zhǔn)→曝光→移位」的重復(fù)動(dòng)作。但即便如此，因每次「對(duì)準(zhǔn)→曝光→移位」僅費(fèi)時(shí)1秒左右，故一片晶圓的總曝光時(shí)間仍控制在1分鐘以內(nèi)哈默納科光罩制備諧波CSF-17-80-2A-R，而保持了工廠的高投片率(highthrough-put；即單位時(shí)間內(nèi)完成制作之硅芯片數(shù)。）

晶圓上微米厚度等級(jí)的光阻，是采用旋轉(zhuǎn)離心（spin-coating）的方式涂布上去。光阻涂布機(jī)如圖2-8所示。其典型程序包括：

 (1)晶圓表面前處理(pre-baking)：即在150°C下烘烤一段時(shí)間。哈默納科光罩制備諧波CSF-17-80-2A-R若表面無(wú)氧化層，要另外先上助粘劑(primer)

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